CMPro-M系列P-CMP專用高通量(PP)熔噴深層濾芯

邁博瑞CMPro-M系列深層濾芯由復合結構的聚丙烯濾材 制備而成，用于CMP slurry輸送系統（SDS）的過濾。其 獨特的梯度設計使其能夠很好地應對化學機械研磨（ chemical mechanical polishing，CMP）漿料過濾的挑 戰。錐形孔結構使CMPro-M在優秀的顆粒攔截效率和高 納污量之間實現了很好的平衡。它可以有效去除CMP slurry中具有破壞性的大顆粒，并且保持過濾前后有效顆 粒粒徑分布（PSD）保持不變。CMPro-M可滿足多種不 同的CMP應用場景，包括氧化物CMP，淺溝槽隔離CMP 和金屬配線CMP等。

產品描述

邁博瑞CMPro-M系列深層熔噴濾芯由復合結構的聚丙烯濾材制備而成，用于CMP slurry輸送系統（SDS）的過濾。其獨特的梯度設計使其能夠很好地應對化學機械研磨（ chemical mechanical polishing，CMP）漿料過濾的挑戰。錐形孔結構使CMPro-M在優秀的顆粒攔截效率和高納污量之間實現了很好的平衡。它可以有效去除CMP slurry中具有破壞性的大顆粒，并且保持過濾前后有效顆粒粒徑分布（PSD）保持不變。CMPro-M可滿足多種不同的CMP應用場景，包括氧化物CMP，淺溝槽隔離CMP 和金屬配線CMP等。

產品特點

  • 梯度過濾結構，確保濾芯的過濾效率

  • 銳利的效率曲線，顯著提升尺寸過大顆粒的去除率，同時最大程度減少有效顆粒的去除

  • 優化使用壽命，降低成本

  • 制造過程中不添加表面活性劑和粘結劑，減少析出

典型應用

產品保證

工作特性

材 料 過濾層/支撐層 聚丙烯
中心桿/端蓋 聚丙烯
密封圈 EPDM
精度 3.0μm, 5.0μm, 7.0μm, 9.0μm, 11.0μm
尺寸規格 外徑 64mm
長度 10inch, 20inch
最大使用條件 最大正向壓差 0.52 MPa (75 psi) @ 25 ?C (77 ?F)
0.19 MPa (27 psi) @ 82 ?C (179 ?F)
最大反向壓差 0.21 MPa (30 psi) @ 25 ?C (77 ?F)
最高使用溫度 80 ?C (176 ?F)

產品尺寸

PP熔噴深層濾芯

流量-壓差曲線圖

PP熔噴深層濾芯

訂購信息

CMPM

Removal Ratings

端蓋

直徑

長度

密封圈

Cleanliness

包裝

030(3.0μm)

050 (5.0μm)

070 (7.0μm)

090 (9.0μm)

110 (11.0μm)

N(222 Flat)

F(Double open-end gasket)

 

6(直徑=64mm)

10 (10”)

20 (20”)

 

P (EPDM)

E（Electronic）

D (Dry)

W (UPW Prewet)

下載資料

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