CMP專用濾芯

CMPro-P系列 聚丙烯深層折疊濾芯

邁博瑞CMPro-P系列濾芯由折疊的多層漸變聚丙烯膜和聚丙烯骨架組成。該系列是化學機械研磨（chemical mechanical polishing，CMP）液大顆粒和膠體去除的理想選擇，尤其適用于氧化物、金屬鎢和金屬銅CMP制程中所用的研磨液的過濾。可有效去除slurry中的團聚顆粒和膠體雜質。此外，CMPro-P濾芯采用的寬幅深層折疊設計大幅度提高了過濾面積和納污容量，使其具備超低的壓損和更長的使用壽命。

產品描述

邁博瑞CMPro-P系列濾芯由折疊的多層漸變聚丙烯膜和聚丙烯骨架組成。該系列是化學機械研磨（chemical mechanical polishing，CMP）液大顆粒和膠體去除的理想選擇，尤其適用于氧化物、金屬鎢和金屬銅CMP制程中所用的研磨液的過濾。可有效去除slurry中的團聚顆粒和膠體雜質。此外，CMPro-P濾芯采用的寬幅深層折疊設計大幅度提高了過濾面積和納污容量，使其具備超低的壓損和更長的使用壽命。

產品特點

  • 寬幅深層折疊使其具備超低的壓損和更長的使用壽命

  • 較大的過濾面積，結合漸變的錐形孔結構，使剪切力最小化

  • 漸變孔徑實現分級過濾，攔截大顆粒并放行有效研磨顆粒

  • 在潔凈車間生產、測試和包裝，確保產品潔凈度

  • 采用熱熔焊接技術，確保無污染

工作特性

材 料 過濾層/支撐層 聚丙烯
外殼/中心桿/端蓋 聚丙烯
密封圈 三元乙丙橡膠，氟橡膠
精 度 0.1μm, 0.2μm, 0.5μm, 1.0μm, 1.5μm, 3.0μm, 5.0μm, 10.0μm
尺寸規格 外徑 68mm
長度 5-40inch
最大使用條件 最大正向壓差 0.52 MPa (75 psi) @ 25 ?C (77 ?F)
0.19 MPa (27 psi) @ 82 ?C (179 ?F)
最大反向壓差 0.21 MPa (30 psi) @ 25 ?C (77 ?F)
最高使用溫度 80 ?C (176 ?F)

產品尺寸

CMPro-P系列 CMP專用聚丙烯（PP）深層折疊濾芯

*其他尺寸請聯系MS

流量-壓差曲線

CMPro-P系列 CMP專用聚丙烯（PP）深層折疊濾芯-流量壓差曲線

＊測試條件: 20℃，水的粘度為1cP

訂購信息

CMPP

精度

直徑

端蓋

長度

密封圈

潔凈度

包裝

001 (0.1 μm)

002 (0.2 μm)

003 (0.3 μm)

005 (0.5 μm)

010 (1 μm)

030 (3 μm)

050 (5 μm)

100 (10 μm)

S (68mm)

N (222 平頭)

L (222 翅片)

R (226 平頭)

T (226 翅片)

D (平壓)

10 (10”)

20 (20”)

30 (30”)

40 (40”)

P (三元乙丙橡膠)

E (電子級)

D (干包裝)
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